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平面光波路を用いた光学式水素センサの開発
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カテゴリ: 部門大会
論文No: 27P3-PS-56
グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発行日: 2024/11/18
タイトル(英語): Development of Hydrogen Gas Sensor Using Planar Lightwave Circuit
著者名: 石井 絵理香(横浜国立大学), キム ゴンフェ(横浜国立大学), 岡崎 慎司(横浜国立大学), 西島 喜明(横浜国立大学), 荒川 太郎(横浜国立大学), 臼倉 拓弥(古河電気工業), 佐藤 直樹(古河電気工業), 松原 礼高(古河電気工業), 大田 育生(古河電気工業)
キーワード: 水素センサ|水素漏洩検知システム|光導波路|平面光波回路|白金担持酸化タングステン
要約(日本語): 本論文では、石英基板上に集積された平面光波回路(PLC)を利用した新しい光学式水素センサを取り上げる。コアを露出させたPLCデバイス上に白金担持酸化タングステン膜を形成したセンサを開発し、その水素応答性を評価した。その結果、高速応答かつ劣化の少ない良好な再現性を示した。
PDFファイルサイズ: 387 Kバイト
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