光導波型SPR血糖値センサにおける感度の成膜温度依存性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-PS-64

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Dependence of Sensitivity on Deposition Temperature in Optical Guided-Wave SPR Blood Glucose Sensor

著者名: 青柳 和志(東京工業高等専門学校), 新國 広幸(東京工業高等専門学校), 伊藤 浩(東京工業高等専門学校)

キーワード: 光導波型|血糖値センサ|表面プラズモン共鳴|加熱成膜|Ag膜

要約(日本語): 光導波型SPR血糖値センサのAg膜をスパッタリング法により加熱成膜し、温度が感度に及ぼす影響を実験的に考察した。成膜温度20、80、120、160、200℃のAg膜を利用したセンサを作製し、感度を測定した。120℃までは膜の屈折率の増加に伴い感度は向上した。160℃以上の温度では熱応力によるAg膜の剥離の影響が屈折率増加による影響より大きくなり感度が低下することがわかった。

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