マルチ集束イオンビーム装置の試作

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-PS-72

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Trial manufacturing system of multi-focused ion beams

著者名: 桑野 博喜(東北大学), Nguyen Van Chinh(東北大学), Le Van Minh(東北大学)

PDFファイルサイズ: 452 Kバイト