多チャンネル化に向けた 2ch 式支持基板一体型振動子の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-PS-76

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Development of 2ch transducer bonded support substrate for multi-channel operation

著者名: 新田 智也(新潟大学), 寒川 雅之(新潟大学), 安部 隆(新潟大学)

PDFファイルサイズ: 496 Kバイト