レーザー加工による金属の自立構造の作製と流量センシングへの応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 27P3-PS-8

グループ名: 【E】第41回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2024/11/18

タイトル(英語): Facile Laser Fabrication of Flexible Free-Standing Structures for Airflow Sensing

著者名: ﾓﾊﾒﾄﾞｽﾞｸﾘ ﾓﾊﾏﾄﾞﾆｻﾞﾙ(Hiroshima City University), アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン(Hiroshima City University), 長谷川 義大(Hiroshima City University), 式田 光宏(Hiroshima City University)

キーワード: 微小電気機械システム|自立型構造|レーザマイクロマシニング|流量センサ|フレキシブルデバイス

要約(日本語): レーザマイクロマシニングによるフレキシブル自立型構造を取り入れた、MEMS流量センサを開発した。ファイバレーザを用いて金属板を加工し、レーザパワー、加工速度、パルス周波数、パルス幅といった加工パラメータを最適化した結果、最小線幅45.1μmの構造を作製できた。作製した構造を流量センサとして定温度で駆動し、流量計測機能を確認した。

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