モリブデンMEMSのための電解エッチングプロセスシミュレータの開発

カテゴリ：部門大会

論文No：10A3-C-1

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Development of Electrolytic Etching Process Simulator for Molybdenum MEMS

著者名：*髙野 雄太（新潟大学）， 橋爪 紀人（新潟大学）， 寒川 雅之（新潟大学）， 安部 隆（新潟大学）

著者名(英語)：

キーワード：モリブデン,電解エッチング,微細加工,エチレングリコール/塩化ナトリウム溶液,プロセスシミュレータ,Molybdenum,Electrolytic etching,Micromachining,Ethylene glycol/NaCl solution,Process simulator

要約(日本語)：本研究では,電解エッチング法を用いたモリブデンの微細加工について,加工性の評価とプロセスシミュレータの開発を行った。加工時間,電圧,エタノール添加量,電解液温度の各プロセスパラメータがエッチレートおよびエッチファクタに及ぼす影響を分析し,蓄積した実験データからシミュレータを開発した。本研究で開発された電解エッチングプロセスシミュレータは,エッチングマスク設計段階において非常に有効なシステムである。

要約(英語)：In this research, we investigated the effects of process parameters such as processing time, applied voltage, ethanol concentration in the electrolyte, and electrolyte temperature on the processability of electrolytic etching of molybdenum. Based on the accumulated experimental data, electrolytic etching process simulator for molybdenum was developed. The developed simulator is highly effective in the step of photomask design.

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