作製再現性が良好な単結晶・多結晶PZTコンポジット薄膜の作製法の開発

カテゴリ：部門大会

論文No：10A3-C-2

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Development of Fabrication Method for Monocrystalline and Polycrystalline PZT Composite Thin Film with Excellent Reproducibility

著者名：*塚本 健太（芝浦工業大学）, 勅使河原 明彦（芝浦工業大学）, 吉田 慎哉（芝浦工業大学）

著者名(英語)：

キーワード：単結晶PZT,多結晶PZT,コンポジット薄膜,LaNiO₃,繊維状配向多結晶,mono PZT,polycrystalline PZT,composite thin film,LaNiO₃,fibrous oriented polycrystalline

要約(日本語)：再現性よくPZT単結晶・多結晶コンポジット薄膜を成膜方法として、SROエピタキシャルバッファ層上にLNO多結晶全面膜を一度形成し、それをパターニングした後にPZTを成膜する方法を開発した。更に試作したコンポジット薄膜は先行研究よりも優れた比誘電率を示した。この理由として本研究で用いられている繊維状配向多結晶膜の結晶性がランダム配向多結晶に比べて優れているためだと考えられる。

要約(英語)：A reproducible method for depositing PZT single-crystal and polycrystalline composite thin films was developed. This involves first forming a full-area LNO polycrystalline film on an SRO epitaxial buffer layer, patterning it, and then depositing PZT. Furthermore, the fabricated composite thin films exhibited superior relative permittivity compared to previous studies. This is attributed to the excellent crystallinity of the fiber-oriented polycrystalline material used in this research.

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