中心高密度軌跡のスパイラルスキャン画像を投影可能な圧電MEMSスキャナ

カテゴリ：部門大会

論文No：10A3-D-1

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Piezoelectric MEMS scanner capable of projecting spiral scan images with a central high-density trajectory

著者名：*新川 瑞季（リコー）, 渡部 友太（リコー）, 鈴木 修一（リコー）, 藤島 正幸（リコー）, 橋口 強（リコー）, 餅田 章利（リコー）, 小島 眞一（リコー）, 中瀬 優子（リコー）, 秋山 和仁（リコー）, 田中 秀（リコー）, 佐藤 正章（リコー）

著者名(英語)：

キーワード：MEMSスキャナ,圧電MEMS,スパイラルスキャン,スマートグラス,LiDAR,MEMS Scanner,Piezoelectric MEMS,Spiral scan,Smart glass,LiDAR

要約(日本語)：走査領域中心付近で高密度な軌跡となるスパイラルスキャン画像を投影可能な圧電MEMSスキャナを開発した。開発したMEMSスキャナはΦ1mmのミラーを支持するジンバルレス構造で,2軸方向にミラー回動可能な固有モードを有する。スパイラルスキャン駆動評価を実施し,駆動周波数18.6kHz,フレームレート30fps,駆動電圧12Vppで,光学走査角が16°,480×480pixの画像投影を達成した.

要約(英語)：We have developed a piezoelectric MEMS scanner capable of projecting spiral scan images with a trajectory designed to achieve higher resolution at the center of the projection area. This MEMS scanner achieved a resonant frequency of 18.6 kHz, an optical scan angle of 16° under an input voltage of 12 Vpp, and the capability to project 480×480 pixel images.

PDFファイルサイズ：1,082Kバイト