大面積ミラー、広角スキャンを備えた1軸圧電MEMSスキャナ

カテゴリ：部門大会

論文No：10A3-D-2

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Resonant 1D Piezoelectric MEMS Scanner With Large Size Mirror and Wide Scanning Angle

著者名：*阿部 洋輔（リコー）, 藤島 正幸（リコー）, 塚本 宣就（リコー）, 清元 智文（リコー）, 佐藤 正章（リコー）, 新川 瑞季（リコー）, 横田 渉（リコー）, 鈴木 修一（リコー）, 坂井 篤（リコー）

著者名(英語)：

キーワード：MEMSスキャナ,圧電MEMS,LiDAR,大口径ミラー,広角スキャン,MEMS scanner,Piezoelectric MEMS,LiDAR,Large size mirror,Wide scanning angle

要約(日本語)：LiDAR用途向けの大口径ミラーかつ広角光走査を実現する圧電MEMSスキャナを開発した。このMEMSスキャナは長軸8.4mm、短軸4.4mmの八角形ミラーを有し、大気圧下、周波数385.4Hz、振幅45Vppの正弦波電圧入力により最大光走査角230°を達成した。さらに、MEMSスキャナに対して振動試験を実施しIEC 60068-2-64規格を満たす振動耐性を有することを確認した。

要約(英語)：A MEMS scanner for LiDAR applications was developed, featuring an octagonal mirror with a major axis of 8.4 mm and a minor axis of 4.4 mm. This MEMS scanner achieved a maximum optical scanning angle of 230° under atmospheric pressure at a frequency of 385.4 Hz.

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