PDMSをダンピング層に用いた圧電MEMSスピーカの全高調波歪の低減

カテゴリ：部門大会

論文No：10A3-M-4

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Micropatterned PDMS Damping Layer Integration to Enhance the Fidelity of Piezoelectric MEMS Speakers Without SPL Penalty

著者名：*王 旭晨（東北大学）, 鈴木 裕輝夫（東北大学）, 李 仲民（AAC Technologies）, 田中 秀治（東北大学）

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