光入射角の計測に向けたフィルタフリー波長センサの製作と評価

カテゴリ：部門大会

論文No：10P2-C-2

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Fabrication and Evaluation of a Filter-Free Wavelength Sensor for Measurement of Light Incident Angle

著者名：*Hoang Ngoc Hung（豊橋技術科学大学）, 崔 容俊（豊橋技術科学大学）, 井出 智也（豊橋技術科学大学）, 松原 稜弥（豊橋技術科学大学）, 野田 佳子（豊橋技術科学大学）, 飛沢 健（豊橋技術科学大学）, 赤井 大輔（豊橋技術科学大学）, 木村 安行（豊橋技術科学大学）, 權 益賢（豊橋技術科学大学）, 高橋 一浩（豊橋技術科学大学）, 野田 俊彦（豊橋技術科学大学）, 澤田 和明（豊橋技術科学大学）

著者名(英語)：

キーワード：フィルタフリー,表面プラズモン共鳴,バイオセンサ,入射角,距離センサ,Filter-free,Surface Plasmon Resonance,Biosensor,Angle of Incidence,Distance Sensor

要約(日本語)：本論文では、長方形の受光領域を持つフィルタフリー波長センサの原理、製作プロセス、および入射角依存性の評価について報告する。本センサは、豊橋技術科学大学のLSI工場でn型シリコン基板上に形成され、従来のSPRバイオセンサシステムへの応用が期待されている。

要約(英語)：This paper reports on the principle, fabrication process, and evaluation of the angle-of-incidence dependence of a filter-free wavelength sensor with a rectangular light-receiving area. This sensor was formed on an n-type silicon substrate at the LSI factory of Toyohashi University of Technology and is expected to be applied to conventional SPR biosensor systems.

PDFファイルサイズ：1,394Kバイト