振動干渉抑制および長期安定性を備えた低電圧2軸圧電MEMSミラー

カテゴリ：部門大会

論文No：10P2-D-2

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Low-voltage two-axis piezoelectric MEMS mirror with vibration interference suppression and long-term stability

著者名：*橋口 強（リコー）, 新川 瑞季（リコー）, 赤沼 悟一（リコー）, 佐藤 正章（リコー）, 峯岸 大生（リコー）, 鈴木 修一（リコー）, 坂井 篤（リコー）

著者名(英語)：

キーワード：MEMSミラー,スキャナ,圧電MEMS,クロストーク,信頼性,MEMS Mirror,Scanner,Piezoelectric MEMS,Crosstalk,Reliability

要約(日本語)：本研究では、高速軸に共振駆動用のカンチレバー型アクチュエータを、低速軸には非共振駆動用のメアンダー型アクチュエータを採用した、ラスター走査用の2軸MEMSミラーを提案する。FEMシミュレーションを用いた構造最適化により機械的クロストークを抑制し、低電圧駆動と高品質な描画性能を両立させた。作製したミラーは、小型かつ低電圧で広い光走査角を達成し、車載規格に準拠した信頼性も確保している。

要約(英語)：We present a 2-axis MEMS mirror for raster scanning using a resonant cantilever-type actuator for the high-speed axis and a non-resonant meander-type actuator for the low-speed axis. FEM-based optimization suppresses mechanical crosstalk, enabling low-voltage driving with high-quality imaging. The compact device achieves a wide scan angle with automotive-grade reliability.

PDFファイルサイズ：975Kバイト