光干渉型MEMSマルチモーダルセンサによるガス検出

カテゴリ：部門大会

論文No：10P3-C-5

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Highly sensitive multi-gas detection using a MEMS optical surface stress sensor

著者名：*權 益賢（豊橋技術科学大学）, 十亀 龍星（豊橋技術科学大学）, 崔 容俊（豊橋技術科学大学）, 野田 俊彦（豊橋技術科学大学）, 澤田 和明（豊橋技術科学大学）, 髙橋 一浩（豊橋技術科学大学）

著者名(英語)：

キーワード：揮発性有機化合物,呼気診断,表面応力センサ,共振質量センサ,マルチモーダルセンサ,Volatile organic compounds,Breath analysis,Surface stress sensor,Resonant mass sensor,Multimodal MEMS sensor

要約(日本語)：本研究では,光干渉型MEMSマルチモーダルセンサを開発し,表面応力変化と共振周波数シフトを同時計測することでVOC検出を実現した.EtOHに対して0.5 ppmの検出下限を達成し,ACONと比較して約5倍大きな応力応答を示した.これにより,質量推定に基づくガス種識別の有効性を示した.

要約(英語)：This study presents a MEMS-based optical interferometric multimodal sensor that simultaneously measures surface stress and resonance frequency shifts for gas detection. The device achieved a detection limit of 0.5 ppm for ethanol and revealed distinct responses compared to acetone, demonstrating selective and sensitive VOC identification based on molecular mass estimation.

PDFファイルサイズ：955Kバイト