水素感応を有する光学積層膜で構成されたOtto配置型プラズモン水素センサ

カテゴリ：部門大会

論文No：10P3-D-3

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Otto-type plasmon sensor elemnts for hydrogen gas detection

著者名：*山根 治起（秋田県産業技術センター）, 柴田 寿人（秋田県産業技術センター）

著者名(英語)：

キーワード：水素センサ,表面プラズモン,Otto配置,光学積層膜,水素濃度計測,hydrogen gas sensor,surface plasmon resonance,Otto configuration,optical stacked film,hydrogen concentration monitoring

要約(日本語)：本研究では,水素感応性を有する金属薄膜で励起されるOtto配置型表面プラズモンを用いた水素センサについて報告する。[Pd-Cu-Si/Pd-Au/SiO2]積層膜を高屈折率プリズム基板上に形成したセンサ素子を作製し,水素ガスを幅広い濃度範囲に渡って安定に計測できることを確認した。

要約(英語)：We have demonstrated a wide range of hydrogen gas detection from 0.01 to 100% at room temperature by using surface plasmons exited at the interface of hydrogen reactive metal and dielectric layers. The Otto-type sensor elements provide a hydrogen monitoring system in flammable environments for gaseous fuels.

PDFファイルサイズ：595Kバイト