CMOSにおいセンサの画素構造を再現した電極デバイスの作製とにおい感応膜の電気特性評価

カテゴリ：部門大会

論文No：10P3-D-4

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Fabrication of an Electrode Device Mimicking the Pixel Structure of a CMOS Odor Sensor and Electrical Characterization of Odor-Sensitive Membranes

著者名：*浅田 吉博（豊橋技術科学大学）, 權 益賢（豊橋技術科学大学）, 崔 容俊（豊橋技術科学大学）, 高橋 一浩（豊橋技術科学大学）, 澤田 和明（豊橋技術科学大学）, 野田 俊彦（豊橋技術科学大学）

著者名(英語)：

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