ガスフローマイクロチャンバに封止した面内応力検知型ガスセンサ

カテゴリ：部門大会

論文No：10P4-PS-13

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：In-plane sensing gas sensor sealed in a gas flow microchamber

著者名：*堀口 真央（東北大学）, 小野 崇人（東北大学）, 戸田 雅也（東北大学）

著者名(英語)：

キーワード：応力センサ,ガスセンサ,ポリマー,ピエゾ素子,MEMS,Stress sensor,Gas sensor,Polymer,Piezoelectric element,MEMS

要約(日本語)：呼気検査による病気の検出が可能な高感度高選択性の応力センサの開発を目指して、アレイ型面内応力検知型ガスセンサの開発に取り組んだ。シミュレーションによって振動子への応力集中と振動子独立振動を達成するための構造を模索した。試作段階のデバイスで水蒸気に対する応答を試した結果、繰り返し応答し、共振周波数が減少することが確認できた。

要約(英語)：We worked on developing an array-type in-plane-stress detection gas sensor that is a highly sensitive and selective to detect diseases through breath. We explored structures for achieving stress concentration on the resonator and independent vibration of the resonator through simulation. As a result of testing the response to water vapor with a prototype device, we confirmed that it responded repeatedly and that the resonance frequency decreased.

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