カーボンフットプリントの直接計測に向けた 集積化MEMSガス濃度・フローセンサ

カテゴリ：部門大会

論文No：10P4-PS-77

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Integrated MEMS gas concentration and flow sensor for direct measurement of carbon footprints

著者名：*秋元 陽介（東芝 総合研究所）, 及川 正登（東芝 総合研究所）, 王 士赫（東芝 総合研究所）, 濱崎 浩史（東芝 総合研究所）, 山﨑 宏明（東芝 総合研究所）

著者名(英語)：

キーワード：カーボンフットプリント,MEMS,ガスセンサ,フローセンサ,ガス濃度補正,Carbon footprints,MEMS,gas sensor,flow sensor,gas concentration compensation

要約(日本語)：流量依存性の極めて小さいMEMS熱伝導率ガスセンサとMEMSフローセンサを1チップ上に集積した技術を提案する。フローセンサの出力を同時計測したCO2濃度で補正することで、CO2濃度が変動する環境下でも正確な流量測定が可能であること実証した。将来のカーボンフットプリント直接計測に有効であることを示した。

要約(英語)：We propose a technology integrating a MEMS thermal conductivity gas sensor with minimal flow dependence and a MEMS flow sensor on a single-chip. By compensating flow sensor output with CO2 concentration enables accurate flow measurement under even varying CO2 conditions, demonstrating effectiveness for future carbon footprints measurement.

PDFファイルサイズ：549Kバイト