単一マスクを用いたリソグラフィのみで共振周波数を制御する3Dメッシュ圧電MEMSハーベスタ

カテゴリ：部門大会

論文No：10P4-PS-79

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：3D Mesh Piezoelectric MEMS Harvester with Resonance Frequency Controlled by Single-Mask Lithography

著者名：*森下 浩多（群馬大学）, 髙田 裕司（群馬大学）, 田中 有弥（群馬大学）, 橋口 原（静岡大学）, 年吉 洋（東京大学）, 鈴木 孝明（群馬大学）

著者名(英語)：

キーワード：圧電,振動エナジーハーベスタ,3Dリソグラフィ,プリズム,MEMS,Piezoelectric,Vibration energy harvester,3D lithography,Prism,MEMS

要約(日本語)：本研究では、振動エナジーハーベスタの共振制御に向け、3Dメッシュ構造を有する圧電MEMSハーベスタを開発した。単一マスクを用いた3Dリソグラフィによって構造角度、すなわち剛性の異なる3Dメッシュ構造を作製した。評価結果より、単一マスクパターンから14 Hzの間で共振周波数を調整することができ、圧電MEMSハーベスタの共振周波数を容易に制御する技術として有効である。

要約(英語)：In this study, we developed a piezoelectric MEMS harvester using 3D mesh structures, fabricated via single-mask 3D lithography. This method enables stiffness tuning through structural angles, allowing resonance frequency control over a 14 Hz range.

PDFファイルサイズ：556Kバイト