オンチップパターンレーザとサンプリングモアレ法を組み合わせた光てこ方式カンチレバー

カテゴリ：部門大会

論文No：10P4-PS-81

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Optical cantilever utilizing on-chip pattern laser and sampling moiré method

著者名：*佐藤 颯哉（慶應義塾大学）, 白鳥 俊宏（慶應義塾大学）, 公文広樹（浜松ホトニクス），本間秀（浜松ホトニクス），亀井宏記（浜松ホトニクス），廣瀬和義（浜松ホトニクス），高橋 英俊（慶應義塾大学）

著者名(英語)：

キーワード：光てこ法,サンプリングモアレ法,オンチップパターンレーザ,レーザ加工,非接触変位・力センサ,Optical lever method,Sampling moiré method,On-chip pattern laser,Laser fabrication,Noncontact displacement・force sensor

要約(日本語)：オンチップパターンレーザとサンプリングモアレ法を組み合わせた光てこ方式カンチレバーを提案する.提案手法は簡易な光軸セットアップで変位11.7倍の増幅と69 nmの分解能を達成し,高精度な変位・力計測が可能であった.

要約(英語)：We propose an optical cantilever combining an on-chip pattern laser with the sampling moiré method. The method enables high-resolution displacement and force measurement with simple optical alignment, achieving 11.7× displacement amplification and 69 nm resolution.

PDFファイルサイズ：1,105Kバイト