酸化物半導体ガスセンサの過渡応答特性

カテゴリ：部門大会

論文No：10P4-PS-95

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Transient response characteristics of metal oxide semiconductor gas sensors

著者名：*本田 恒太（三菱電機）, 東 駿 （三菱電機）

著者名(英語)：

キーワード：ニオイセンサ,半導体式ガスセンサ,過渡応答特性,0,0,Odor sensor,Semiconductor metal oxide gas sensor,Transient response,0,0

要約(日本語)：ニオイには多くの情報が含まれ、食品検査や病気診断などに応用が期待される。一般的なニオイセンサは複数のガスセンサを使用するが、単一の半導体ガスセンサを用いた新手法が提案されている。この手法では、ヒータ電圧を動的に変化させ、ニオイ物質に応じたセンサの応答を計測する。研究では、ヒータ電圧印加時のセンサ応答の特性を調査し、個体差や温湿度の影響を評価した。

要約(英語)：Odors contain valuable information for applications like food quality inspection and disease diagnosis. A new method using a single semiconductor gas sensor with dynamic heater voltage modulation has been proposed. This study investigates the sensor's transient response characteristics under varying heater voltage, focusing on individual differences and environmental humidity and temperature effects.

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