Siハニカム構造-PDMS複合ダンピング層によるMEMSスピーカの性能向上

カテゴリ：部門大会

論文No：11A2-B-1

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Hybrid Honeycomb-PDMS Damping Structure for High-Fidelity MEMS Microspeakers

著者名：*王 旭晨（東北大学）, 鈴木 裕輝夫（東北大学）, 李 仲民（AAC Technologies）, 田中 秀治（東北大学）

著者名(英語)：

キーワード：MEMS スピーカ,ハニカム構造,PDMSマイクロパタンニング,パッシブ減衰,音響忠実度向上,MEMS microspeaker,honeycomb structure,PDMS micropatterning,passive damping,acoustic fidelity improvement

要約(日本語)：Siハニカム/PDMSハイブリッドダンパーを用いたMEMSマイクロスピーカを提案した。ハニカム構造による幾何学的柔軟性を利用して粘弾性エネルギー散逸を高め、共振ピークを抑制した。シミュレーションでは、変位の増大とQ値の大幅な低下を確認した。PDMSマイクロパタンニンはEBLO法により作製され、真空中でQ=34、空気中でQ=29を示し、従来構造に比べTHDを31%低減した。これにより高音質化に有効であることを実証した。

要約(英語)：A MEMS microspeaker with a honeycomb-patterned diaphragm and PDMS damping layer enhances energy dissipation, reducing Q-factor and THD. The honeycomb structure increases displacement and lowers resonance peaks, achieving Q = 34 (vacuum) and 29 (air) with 31% THD reduction for improved acoustic fidelity.

PDFファイルサイズ：1,470Kバイト