六箇所安定構造を有する面内駆動マイクロステージ

カテゴリ：部門大会

論文No：11A2-B-2

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：In-plane driven hexastable microstage

著者名：*安永 竣（東京大学）, 三田 吉郎（東京大学）

著者名(英語)：

キーワード：双安定,複数安定,マイクロステージ,SOI,MEMS,Bistable,Multistable,Microstage,SOI,MEMS

要約(日本語)：本研究では3自由度6通りの安定構造を持つ面内動作型マイクロステージを提案する。マイクロステージの姿勢は、ステージに接続された4つの双安定座屈梁の組み合わせによって決定され、静電駆動によって状態遷移する。SOIウェハを用いて製作したデバイスを用いて動作検証し、平均9.69 µmの並進と0.04°の回転を有する六安定挙動を実証した。

要約(英語)：An in-plane moving microstage that has six stable configurations with three degrees of freedom is presented. The orientation of the microstage is determined by the combination of four bistable buckled beams connected to the stage, which is actuated electrostatically. Using the devices fabricated using silicon-on-insulator wafers, the hexastable behavior was demonstrated with 9.69 µm translation on average and a 0.04° rotation.

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