3次元集積流体センサ向けPZT圧電薄膜を用いた小型液体用マイクロポンプ

カテゴリ：部門大会

論文No：11A2-B-6

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Low-Voltage Millimeter-Scale Liquid Micropump Using a PZT Thin-Film Diaphragm Actuator for a 3D-Stacked Fluid Sensor System

著者名：*岡本 有貴（産業技術総合研究所）, 小田 怜（産業技術総合研究所）,（慶應義塾大学）, 小原 慧（産業技術総合研究所）,（慶應義塾大学）, 中島 利八郎（産業技術総合研究所）,（慶應義塾大学）, Gorwadkar Sucheta（産業技術総合研究所）, 山本 泰之（産業技術総合研究所）, 村本 智也（産業技術総合研究所）, 小林 健（産業技術総合研究所）, 竹井 裕介（産業技術総合研究所）, 岡田 浩尚（産業技術総合研究所）

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