におい感応膜で生じる電位と容量の変化を同時計測可能なCMOS においセンサの製作と機能検証

カテゴリ：部門大会

論文No：11A2-C-4

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Fabrication and Function Verification of a Pixel-Integrated CMOS Odor Sensor Array Capable of Simultaneous Detection of Potential and Capacitance

著者名：*西川 直希（豊橋技術科学大学）, 上條 友暉（豊橋技術科学大学）, 木村 安行（豊橋技術科学大学）, 野田 佳子（豊橋技術科学大学）, 赤井 大輔（豊橋技術科学大学）, 飛沢 健（豊橋技術科学大学）, 權 益賢（豊橋技術科学大学）, 崔 容俊（豊橋技術科学大学）, 高橋 一浩（豊橋技術科学大学）, 澤田 和明（豊橋技術科学大学）, 野田 俊彦（豊橋技術科学大学）

著者名(英語)：

キーワード：においセンサ,CMOSアレイセンサ,容量センサ,におい感応膜,においセンシング,Odor sensor,CMOS array sensor,Capacitance sensor,Odor sensitive membrane,Odor sensing

要約(日本語)：本研究では、従来の電位検出型においセンサでは感応膜における電位・抵抗・容量など複合応答を取得できない課題に対し、電位検出画素と混載可能な容量検出画素を設計・作製し、その機能を検証した。作製したアレイセンサによる評価では、電位と容量の同時計測を実現するとともに、同一感応膜から異なる応答を取得することに成功した。これにより多角的な情報取得が可能となり、におい判別や強度定量の精度向上が期待される。

要約(英語)：In this study, we developed a capacitive sensing element that can be integrated with a voltage detection element capable of acquiring complex response changes in a sensing membrane, successfully obtaining different responses from the same sensing membrane.The proposed array sensor leads to the acquisition of multidimensional information and is expected to improve odor measurement performance.

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