持続性社会を目指した環境調和型加水分解性熱式MEMSセンサの開発

カテゴリ：部門大会

論文No：11A2-D-4

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Eco-friendly water dissolvable thermal MEMS sensor toward sustainable society

著者名：*中村 琉聖（広島市立大学）, アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン（広島市立大学）, 長谷川 義大（広島市立大学）, 松島 充代子（名古屋大学）, 川部 勤（名古屋大学）, 式田 光宏（広島市立大学）

著者名(英語)：

キーワード：加水分解性,フレキシブルセンサ,気流センサ,呼吸モニタリング,Mo製ヒータ,Water Dissolvable,Flexible Sensor,Airflow Sensor,Respiration Monitoring,Mo Heater

要約(日本語)：動物実験での一時的な呼吸モニタリング用途を想定し、加水分解性熱式MEMSセンサを開発した。センサは,微細粘着フィルムを用いた乾式パターニング法により、PVA基板上にMo製ヒータを形成した構造を有する。Mo薄膜の抵抗温度係数は-2063 ppm/℃を示し、熱式センサとしての動作を確認した。また、人工呼吸器による気流下で流量検出機能を評価した。さらに、本センサは浸水後30秒以内に完全に分解することを確認した。

要約(英語)：Here we present a proof-of-concept water-dissolvable MEMS thermal sensor for eco-friendly, implantable respiratory monitoring. Fabricated with a molybdenum thin film on a polyvinyl alcohol substrate, the device demonstrated reliable airflow measurement with a TCR of -2,063 ppm/°C. Complete dissolution in water within 30 seconds confirmed its transient, biocompatible potential.

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