静電型マイクロ振動子を用いた近赤外分光センサの感度評価

カテゴリ：部門大会

論文No：11A2-D-5

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Evaluation of Sensitivity of a Near-Infrared Sensor Using an Electrostatic MEMS Oscillator

著者名：*関 拓郎（神戸大学）, 上杉 晃生（富山県立大学）, 本間 浩章（神戸大学）, 菅野 公二（神戸大学）, 磯野 吉正（神戸大学）

著者名(英語)：

キーワード：MEMS,表面プラズモン共鳴,近赤外分光,振動子,センサ,MEMS,Surface plasmon resonance,near-infrared spectroscopy,Oscillator,Sensor

要約(日本語)：本研究では、Siを用いた電気静的マイクロ共振器型近赤外分光センサを開発しました。MEMS技術で作製し、近赤外光を吸収して共振周波数の変化を検出します。特定波長に吸収ピークを持ち、19nWの微弱光も検出可能です。今後は多波長対応により小型・高感度・低コスト化が期待されます。

要約(英語)：This study developed a silicon-based electrostatic micro resonator NIR sensor using MEMS technology. The prototype showed an absorption peak in the near-infrared range and a high sensitivity with a detection limit of 19 nW. It enables the future development of compact, low-cost, and highly sensitive NIR spectrometers.

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