センサ用AlGaN/GaN湾曲片持ち梁デバイスの試作

カテゴリ：部門大会

論文No：11A3-PS-36

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Fabrication of curved AlGaN/GaN cantilever devices for sensing applications

著者名：*小林 碧音（東京都立大学）, 長尾 宗良（東京都立大学）, 中村 成志（東京都立大学）

著者名(英語)：

キーワード：センサ,窒化ガリウム,湾曲片持ち梁構造,二次元電子ガス,異方性ウェットエッチング,sensor,gallium nitride,curved cantilever structure,2-dimensional electron gas,anisotropic wet etching

要約(日本語)：本論文では、センシング用途に向けた湾曲AlGaN/GaNカンチレバーデバイスの作製について述べる。エッチングマスクパターンとKOHウェットプロセス耐性電極材料の最適化を行った。その結果、提案デバイスがセンサーデバイスとして有望であることを実証した。

要約(英語)：This paper addresses the fabrication of curved AlGaN/GaN cantilever devices for sensing applications. Optimization of the etching mask patterns as well as electrode material resistant to KOH wet process was performed. As a result, we have demonstrated that the proposed device is promising as a sensor device.

PDFファイルサイズ：694Kバイト