センシング用片面励起型水晶振動子の電極形状の最適化

カテゴリ：部門大会

論文No：11A3-PS-8

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Optimization of electrode shape of single-sided excitation crystal unit for sensing

著者名：*野島 悠成（新潟大学）, シリトンガ ウィリアム（新潟大学）, 稲葉 陽樹（新潟大学）, 寒川 雅之（新潟大学）, 安部 隆（新潟大学）

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要約(英語)：

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