MEMS触覚ディスプレイのための面内動作型SMA厚膜アクチュエータアレイの形成と静的な変形特性評価

カテゴリ：部門大会

論文No：11P2-D-5

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Fabrication and static characterization of in-plane-deformable SMA thick film actuator array for MEMS tactile display

著者名：*長坂 慶大（山形大学）, 峯田 貴（山形大学）

著者名(英語)：

キーワード：触覚ディスプレイ,横振動,SMAアクチュエータ,面内動作,MEMS,Tactile display,Lateral vibration,SMA actuator,in-plane deeformable,MEMS

要約(日本語)：皮膚が敏感である横振動型の触覚提示のために、面内で往復動作するSMA厚膜アクチュエータアレイ(2 mmピッチ)を設計して作製した。一対のSMA伸縮ビーム(10 μm厚)をCu基板上に形成し、左右のビームを交互に加熱収縮するために、ビーム両端のフレーム部を基板ごと分割し、基板湾曲により両側から初期引張を与える手法を考案した。低温相および高温相でのビームの剛性を測定し、人の指腹部の知覚閾値を上回る出力の見通しを得た。

要約(英語)：A in-plane-deformable SMA thick film actuator array (2 mm pitch) was designed and fabricated for a lateral-vibrational tactile stimulation. After the pair of stretchable SMA beams were formed on a Cu substrate, the SMA frame and Cu substrate suspending the beams were separated to stretch the beams for the alternate shrinkage in pulse heating. The SMA actuator was able to generate the force and displacement above the detection threshold of human fingerpad in static motion.

PDFファイルサイズ：768Kバイト