波長選択性を持つ導波路型プラズモニックフォトディテクタ

カテゴリ：部門大会

論文No：11P4-PS-17

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Silicon Wire Waveguide-integrated Wavelength-Selective Plasmonic Photodetector

著者名：*前川 浩紀（東京大学）, 安永 竣（東京大学）, 中根 了昌（東京大学）, 三田 吉郎（東京大学）, 肥後 昭男（東京大学）

著者名(英語)：

キーワード：光検出器,シリコンフォトニック集積回路,シリコンフォトニック導波路,表面プラズモン共鳴,ショットキー接合,photodetector,silicon photonic integrated circuit,silicon wire waveguide,surface plasmon resonance,Schottky barrier diode

要約(日本語)：表面プラズモンを用いたシリコン導波路に集積化可能な波長選択的なフォト ディテクタを提案する。本デバイスはシリコン光導波路上に配置された櫛歯型電極による表面プラズモン型光検出デバイスである。周期構造による波長選択性を有する。プラズモン励起でホットキャリアが生成され光電流が生成される。作製した光デバイスの光電特性と波長選択性の測定に成功した。

要約(英語)：This paper addresses a wavelength-selective photodetector integrated with a silicon photonic waveguide by utilizing surface plasmon excitation. The device features an interdigitated electrode patterned on the waveguide, which facilitates plasmonic excitation, resulting in a wavelength-selective hot-carrier-based photocurrent. Measurement results of the fabricated device confirmed that the photodetector's capability of the proposed structure exhibited distinct wavelength selectivity depending on

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