SAE-MEMSエナジーハーベスタの出力電力増大に向けた微細キャビティ構造の提案と評価

カテゴリ：部門大会

論文No：11P4-PS-19

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Proposal and Evaluation of Micro-Cavity Structures for Enhancing Output Power of SAE-MEMS Vibrational Energy Harvesters

著者名：*砂川 優一朗（立命館大学）, 角野 響一（立命館大学）, 細井 覚（立命館大学）, 神宮 彩人（群馬大学）, 伊藤 蒼生（群馬大学）, 田中 有弥（群馬大学）, 山根 大輔（立命館大学）

著者名(英語)：

キーワード：MEMS,振動発電素子,自己組織化エレクトレット,微細キャビティ構造,表面電位,MEMS,vibrational energy harvester,self-assembled electret,micro-cavity structure,surface potential

要約(日本語)：本研究では、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)振動発電素子の出力増大に向けた、自己組織化エレクトレット(SAE: Self-Assembled Electret)形成のための微細キャビティ(MC: Micro-Cavity)構造を提案し、その評価を行う。MC構造を用いることで、空気ギャップとSAE膜厚を独立して設計可能となる。

要約(英語)：This study proposes and evaluates micro-cavity (MC) structures filled with self-assembled electrets (SAEs) to enhance the output power of micro-electro-mechanical systems (MEMS) vibrational energy harvesters (VEHs). This design approach enables the realization of higher surface potential without being constrained by the air gap.

PDFファイルサイズ：418Kバイト