二次元ファイバレーザ加工条件マッピングによる金属薄膜貫通プロセスの最適化

カテゴリ：部門大会

論文No：11P4-PS-3

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Metal thin film cutting optimization by 2-D fiber laser processing condition mapping

著者名：*モハメド ズクリ モハマド ニザル（広島市立大学）, アル・ファリシィ ムハンマド・サルマン（広島市立大学）, 長谷川 義大（広島市立大学）, 式田 光宏（広島市立大学）

著者名(英語)：

キーワード：ファイバーレーザー微細加工,極薄金属箔,パラメータ最適化,しきい値マッピングマトリクス (TMM),エネルギー密度マトリクス (EDM),Fiber laser micromachining,Ultrathin metal foils,Parameter optimization,Threshold Mapping Matrix (TMM),Energy Density Matrix (EDM)

要約(日本語)：本研究では、ファイバーレーザ加工時のパラメータ(ピークパワー、パルス幅など)を 最適化することを目的として、それらを2次元マッピングにて可視化する新たな方法を提案した。そしてそれを3つの異なる金属材(チタン、銅、ニクロム)に適用し、微細貫通加工条件の最適化を図るとともに、その有用性を線状及び渦巻き状パターンにて実証した。

要約(英語)：This study introduces a 2D mapping method to optimize fiber laser parameters for micromachining ultrathin foils. Threshold Mapping defines penetration limits, while Energy Density ensures stable scanning. Validated on titanium, copper, and nichrome, the method achieved clean cuts and proved reproducible across materials and thicknesses, contributing to reliable fabrication for flexible devices.

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