感光性樹脂シートを用いた微小飛行体要素のプロセス構築

カテゴリ：部門大会

論文No：11P4-PS-5

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Process Development for Flapping Wing Nano Air Vehicles using Dry Film Resist

著者名：*加藤 瑞生（九州工業大学）, 西ノ原 流世（九州工業大学）, 木村 将晶（九州工業大学）, 村上 直（九州工業大学）, 坂本 憲児（九州工業大学）, 石原 大輔（九州工業大学）

著者名(英語)：

キーワード：ドライフィルムレジスト,ポリイミド,微小飛行体,マイクロロボット,プロセスインテグレーション,Dry Film Resist,Polyimide,Flapping Wing Nano Air Vehicles,Micro Robots,Process Integration

要約(日本語)：本研究では、ポリイミド系ドライフィルムフォトレジストを用いた微小飛行体の多層プロセスを改良した。露光後ベークや現像条件の最適化により亀裂や破損を抑制し、歩留まりを30%から50%へ改善した。

要約(英語)：In this study, we have established and improved a simplified process for Flapping Wing Nano Air Vehicles, which are multilayered structures fabricated using a polyimide-based dry film photoresist. We show the results of changing the post-exposure bake and development processes.

PDFファイルサイズ：817Kバイト