薄膜カリウムイオンエレクトレットの最大表面電位の評価

カテゴリ：部門大会

論文No：11P4-PS-7

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Evaluation of maximum surface potential in thin film electret doped with potassium ions

著者名：*三笠 雅大（神戸大学）, 本間 浩章（神戸大学）, 年吉 洋（東京大学）, 上杉 晃生（神戸大学）, 菅野 公二（神戸大学）, 磯野 吉正（神戸大学）

著者名(英語)：

キーワード：エレクトレット,表面電位,薄膜,エナジーハーベスタ,電界強度,Electret,Surface potential,Thin film,Energy harvester,Electric field strength

要約(日本語)：本論文では、薄膜エレクトレットの最大表面電位を調査した結果を報告する。表面電位評価用サンプルは、Si基板上にカリウムイオンをドープしたSiO2薄膜(10 nm〜50 nm)を成膜し、任意のバイアス電圧を印加することで分極した。結果、エレクトレット膜に加わる最大電界強度は約3 MV/cmとなった。これは、強電界により誘起される現象がカリウムイオンエレクトレットの最大表面電位の決定要因であることを示した。

要約(英語)：This paper reports the maximum surface potential of thin-film electrets using potassium-doped SiO2 films. The study found that the potential is limited by an applied electric field of approximately 3 MV/cm. This indicates that phenomena caused by strong electric fields are the dominant factor determining the maximum surface potential of these electrets.

PDFファイルサイズ：2,901Kバイト