レーザ誘起グラフェンの実効熱膨張率評価と熱駆動MEMSアクチュエータ応用

カテゴリ：部門大会

論文No：11P4-PS-77

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Evaluation of effective thermal expansion of laser-induced graphene and its application to thermal MEMS actuators

著者名：*寺田 隼（慶應義塾大学）, 田中 靖子（慶應義塾大学）, 山下 優（慶應義塾大学）, 田口 良広（慶應義塾大学）, 橋本 将明（慶應義塾大学）

著者名(英語)：

キーワード：レーザ誘起グラフェン,実効熱膨張率,バイモルフ,熱駆動MEMSアクチュエータ,フェムト秒レーザ,laser induced graphene,effective thermal expansion coefficient,bimorph,thermal MEMS actuator,femtosecond laser

要約(日本語)：フェムト秒レーザ照射によりPDMS上にLIG層を形成し、LIG/PDMSバイモルフ構造を作製した。FIBによる断面観察とチャンバー加熱時の角度変位測定により、LIGの実効熱膨張率を9.1×10⁻⁵/Kと算出した。また、パルス状のレーザで加熱したステップ応答の解析により、 LIG/PDMSバイモルフ構造のMEMSへの応用可能性を確認した.

要約(英語)：LIG layers were formed on PDMS by femtosecond laser irradiation to fabricate LIG/PDMS bimorphs. Cross-sectional FIB observation and angular displacement during heating gave an effective thermal expansion coefficient of 9.1×10⁻⁵ /K. Step-response analysis under pulsed laser heating confirmed their potential for MEMS actuation.

PDFファイルサイズ：425Kバイト