高感度化撓み制御ダイアフラム上圧電MEMS超音波センサを用いた超高分解能計測のための強誘電的共振周波数制御

カテゴリ：部門大会

論文No：11P4-PS-81

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Ferroelectric Resonance Frequency Control for High Resolution Measurement Using Piezoelectric MEMS Ultrasonic Sensors on Buckled Diaphragm Structure for High Sensitivity

著者名：*山下 馨（京都工芸繊維大学）, 山本 純平 （京都工芸繊維大学）

著者名(英語)：

キーワード：フェイズドアレイ,高分解能,超音波計測,周波数制御,強誘電体,phased array,high resolution,ultrasonic measurement,frequency control,ferroelectrics

要約(日本語)：圧電MEMSセンサにおいて，限界を超える疎なアレイにおいてもゴーストを抑制して高分解能な超音波計測を可能とする共振周波数制御法を，強誘電的分極ヒステリシスの観点で最適化を試みた。適切な分極・電界の状況を選択することにより安定的に計測を行うための制御が可能であることがわかった

要約(英語)：In piezoelectric MEMS sensors, we optimized a resonance frequency control method from the perspective of ferroelectric polarization hysteresis. This method enables high-resolution ultrasonic measurement by suppressing ghosting even in extremely sparse arrays that exceed conventional limits. We found that selecting appropriate polarization and electric field conditions enables stable frequency control.

PDFファイルサイズ：1,563Kバイト