Al添加酸化亜鉛のスプレー熱分解法を用いた成膜方法の検討

カテゴリ：部門大会

論文No：12P2-PS-10

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Study of Al-doped zinc oxide deposition using spray pyrolysis method

著者名：*風間 李子（東北大学）, 小野 崇人（東北大学）, Voiculescu Ioana（The City College of New York）, 戸田 雅也（東北大学）

著者名(英語)：

キーワード：AZO,スプレー熱分解法,導電性多孔質材料,非真空プロセス,不純物除去,AZO,Spray Pyrolysis Deposition,Conductive Porous Material,Non-Vacuum Process,Impurity Removal

要約(日本語)：導電性多孔質材料の簡便・低コストな作製法として,手動噴霧器を用いたスプレー熱分解法による簡易AZO膜作製を検討した.本手法は装置が簡便すぎる故に膜中へ不純物が残留する課題があったが,成膜中の純水リンス工程の導入により解決した.作製膜は多孔質構造を示し,不純物除去を確認した.Al濃度によってシート抵抗値が変化することも確認でき,発電デバイス等への応用が期待される.

要約(英語)：This paper addresses a low-cost method to fabricate conductive porous AZO films via spray pyrolysis. A DI water rinsing process using a commercial sprayer was employed during deposition to remove impurities. This enabled sheet resistance regulation by adjusting aluminum concentration, improving the film’s overall quality and viability.

PDFファイルサイズ：696Kバイト