Narrow gap formation technology for electrostatic MEMS transducers utilizing stress strain and stopper structure

カテゴリ：部門大会

論文No：12P2-PS-20

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Narrow gap formation technology for electrostatic MEMS transducers utilizing stress strain and stopper structure

著者名：*ヘラー マーティン（Rohm）, FUJITA Toma（Rohm）, Nishinohara Daisuke（Rohm）, Hashimoto Hideaki（Rohm）, Wu Jiaxu（Waseda University）, Liu Shiyu（Waseda University）, Wang Xingwei（Waseda University）, Ikehashi Tamio（Waseda University）

著者名(英語)：

キーワード：トランスデューサー,ギャップの縮小,アクチュエータ,熱機械的応力,SCREAM,transducer,gap reduction,actuator,thermomechanical stress,SCREAM

要約(日本語)：MEMSトランスデューサーの設計においては、電気機械的性能を確保するためにサブミクロン領域のギャップが要求される一方、 他の主要な特徴には数ミクロン幅のギャップが必要とされるという設計上のジレンマが存在する。 本論文では、この課題に対処する手法として、懸架型熱酸化膜トレンチ絶縁(Isolation Joint: IJ)を組み込んだ SCREAMプロセス特有の機能を活用する方法について論じ、さらにその実証的応用例を報告する。

要約(英語)：MEMS transducer design presents a design dilemma: while submicron gaps are required for electromechanical performance, other key features require gaps of several microns in width. In this paper, we discuss how to address this challenge by leveraging the unique capabilities of the SCREAM process, which incorporates suspended thermal oxide trench isolation joints (IJs), and report on its practical application.

PDFファイルサイズ：665Kバイト