たわみを有するマイクロ振動子光センサの計測分解能評価

カテゴリ：部門大会

論文No：12P2-PS-38

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Evaluation of minimum measureable light intensity for microresonator-based light sensor with arch shape

著者名：近藤 直輝（神戸大学）, 松塚 直樹（明石工業高等専門学校）, 上杉 晃生（神戸大学）, *菅野 公二（神戸大学）, 磯野 吉正（神戸大学）

著者名(英語)：

キーワード：光センサ,共振,振動子,計測分解能,短波長赤外,Optical sensor,resonance,oscillator,measurement resolution,short-wavelenght infrared

要約(日本語)：本研究では,マイクロ梁の共振周波数シフトに基づいて光強度を計測する光学センサデバイスの光強度計測分解について調べた結果を報告する。適度な初期たわみを有する梁では,広い光強度範囲にわたり感度の安定性と分解能が向上し,特に2次および4次の振動モードで最適なQ値と最小検出光強度が得られることが示された。

要約(英語)：This study reports the results of investigating the light-intensity detection resolution of an optical sensing device that measures light intensity based on the resonance frequency shift of a microbeam. It was demonstrated that beams with moderate initial deflection exhibit improved sensitivity stability and detection resolution over a wide range of light intensities, with the second and fourth vibration modes achieving optimal Q-factors and minimum detectable light intensities.

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