横たわみ検出によりカンチレバー数を削減した3軸MEMS触覚センサの開発

カテゴリ：部門大会

論文No：12P2-PS-42

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Development of a 3-Axis MEMS Tactile Sensor with Reduced Number of Cantilevers via Detection of Lateral Bending

著者名：*佐藤 亮太（新潟大学）, 村上 健（新潟大学）, 安部 隆（新潟大学）, 寒川 雅之（新潟大学）

著者名(英語)：

キーワード：MEMS,触覚センサ,マイクロカンチレバー,ひずみゲージ,多軸力検知,MEMS,tactile sensor,micro cantilever,strain gauge,multi-axial force detection

要約(日本語)：カンチレバーの横たわみを利用することでカンチレバー数を削減した触覚センサの開発を行った。従来のセンサは1つのひずみゲージで縦たわみのみを検出しており、3軸力の検出に3つ以上を要していた。本研究では、配置角度の異なるカンチレバーにひずみゲージを2つ搭載することで、4つの独立したセンサ出力を得ることができ、2つのカンチレバーでの推定が可能となる。推定した結果、概ね印加値と一致していることが確認できた。

要約(英語)：We developed a tactile sensor reducing the number of cantilevers by utilizing lateral deflection. Our previous sensors required three or more for three-axis force detection. In this work, by mounting two strain gauges on cantilevers placed at different angles, four independent outputs enable estimation with only two cantilevers, showing results generally consistent with applied forces.

PDFファイルサイズ：1,650Kバイト