TiNを用いたMEMS水素ガスセンサの作製と特性評価

カテゴリ：部門大会

論文No：12P2-PS-46

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Fabrication and evaluation of MEMS hydrogen gas sensor using TiN films

著者名：*梅宮 寿博（東京工業高等専門学校）, 伊藤 浩（東京工業高等専門学校）, 新國 広幸（東京工業高等専門学校）

著者名(英語)：

キーワード：水素ガスセンサ,MEMS,TiN,水素透過膜,マイクロヒータ,Hydrogen gas sensor,MEMS,TiN,Hydrogen permeable film,Micro heater

要約(日本語)：本研究では、提案するTiN水素ガスセンサの作製とセンサ特性評価を目指し、試作4号機として設計から作製プロセスの検討を行った。また、ガス検出特性にはガラス基板を用いたセンサを作製し、基本的なヒータ特性とガス検出特性を評価した。これらの結果、設計した試作4号機のガスセンサにてセンサの基本動作を確認することができ、また、提案するTiN水素透過膜が、水素ガス選択膜として機能することが確認できた。

要約(英語)：In this study, we aimed to fabricate the proposed TiN hydrogen gas sensor and evaluate its sensor characteristics, conducting an examination of the design and manufacturing process for prototype No. 4. It was confirmed that the proposed TiN hydrogen permeable film functions as a hydrogen gas selective film.

PDFファイルサイズ：604Kバイト