超弾性合金パイプへの円筒リソグラフィによるスプライン型電極カテーテルの一括形成

カテゴリ：部門大会

論文No：12P2-PS-6

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Batch-fabrication of spline-type electrode catheter on a superelastic pipe using cylindrical lithography

著者名：*大和 舜（山形大学）, 今野 竜之介（山形大学）, 峯田 貴（山形大学）, 小川 明（アクトメント）

著者名(英語)：

キーワード：電極,カテーテル,円筒リソグラフィ,TiNi合金パイプ,電解エッチング,Electrode,Catheter,Cylindrical lithography,TiNi alloy pipe,Electrochemical etching

要約(日本語)：心臓診断治療用のスプライン構造の電極搭載型カテーテルの一括形成を目指し、超弾性TiNiパイプ(φ2.3 mm, 60 mm長)上への電極パターンの形成手法を考案した。パイプ表面上にポリイミド絶縁膜を均一な膜厚で被覆後に、Au/Cr膜を回転スパッタ成膜し、円筒フォトリソグラフィおよびエッチングで複数の電極および配線パターンを円筒面上に形成した。TiNiパイプとAu/Cr電極間の耐電圧も評価した。

要約(英語)：A catheter with multi-electrode on a spline-structured super-elastic TiNi alloy pipe (φ2.3 mm, 60 mm long) was fabricated using cylindrical lithography. The multi-electrode and electric line patterns were formed on the uniformly-coated insulating polyimide film by the cylindrical lithography and etching of rotationally-sputtered Au/Cr film on the pipe surface. Consequently, the dielectric breakdown voltage of the insulating polyimide film was evaluated.

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