極低濃度アルカリ水溶液における単結晶Siエッチング特性に与える黒鉛効果

カテゴリ：部門大会

論文No：12P2-PS-8

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Effect of Graphite on Etching Characteristics of Single-Crystal Si in Extremely Low-Concentration Alkaline Solution

著者名：*木村 謙吾（愛知工業大学）, 田中 浩（愛知工業大学）

著者名(英語)：

キーワード：ウェットエッチング,シリコン,黒鉛,アルカリ水溶液,微細加工,wet etching,silicon,graphite,alkaline solution,microfabrication

要約(日本語)：本研究は環境にやさしいエッチングプロセスの開発を目的としている。そこで触媒効果が期待される黒鉛に注目した。実験では1%KOH水溶液に粒子径が異なる黒鉛を分散させた液を用いてSi(100)をエッチングした。結果として、粒子径が大きい黒鉛でエッチング速度向上、マイクロピラミッド減少効果が大きかった。これにより、黒鉛がシリコン表面に接触することが重要であると考えられた。

要約(英語)：This study aims to develop a silicon wet etching process with low environmental impact. We performed etching of Si(100) wafers using a 1% KOH solution containing graphite and evaluated the etching characteristics. The results showed that larger graphite particles produced a stronger effect in improving etching rate and reducing micro-pyramids.

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