フィルタの最適化と出力信号処理による集積化磁気センサにおけるノイズ低減に関する研究

カテゴリ：部門大会

論文No：12P2-PS-82

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Research on Noise Reduction in Integrated Magnetic Sensors by Filter Optimization and Output Signal Processing

著者名：*木村 孝之（茨城大学）, 冨田 将嵩（茨城大学）, 大久保 空（茨城大学）, 増澤 徹（茨城大学）

著者名(英語)：

キーワード：ホール素子,ノイズ低減,ロックイン検出,バンドパスフィルタ,ランダムテレグラムノイズ,Hall device,noise reduction,lock-in detection,bandpass filter,random telegram noise

要約(日本語)：医療分野で用いられる磁性体ビーズの観測に向け、集積化磁気センサを構成するMOSホール素子で発生するノイズの低減手法を検討した。はじめにロックイン検出前にアナログとデジタルにおいてバンドパスフィルタ処理を行うことで入力磁場換算ノイズを0.691 mTrmsに低減した。さらにRTN成分をヒストグラム処理で除去することで、入力磁場換算ノイズを0.157 mTrmsまで低減した。これらのシステムにより、微小磁場の高精度検出を可能にした。

要約(英語)：To observe magnetic beads for medical use, noise reduction in MOS Hall devices was studied. Bandpass filtering reduced noise to 0.691 mTrms, and histogram-based RTN removal reduced it to 0.157 mTrms. These systems enabled high-precision detection of small magnetic fields.

PDFファイルサイズ：422Kバイト