Mos構造を用いた半導体FETガスセンサの水素応答性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS0511

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　ケミカルセンサ研究会

発行日: 2005/06/23

タイトル(英語): Hydrogen Sensing Evaluation of MOS Capacitor for FET gas sensor

著者名: 後藤,康|横沢宏一,|右高,園子|中野,定樹

著者名(英語): Yasushi,Goto|Koichi,Yokosawa|Sonoko,Migitaka|Sadaki,Nakano

キーワード: ガスセンサ|半導体|くし型電極|選択性|発振法

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 682 Kバイト