くし型電極を用いた半導体ガスセンサの研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS0512

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　ケミカルセンサ研究会

発行日: 2005/06/23

タイトル(英語): Study on Semiconductor Gas Sensor Using Interdigital Electrodes

著者名: 斎藤,敦史|吉田,充邦|南川,卓|兵頭,茉理|野村,徹

著者名(英語): Atsushi,Saitoh|Michiho,Yoshida|Suguru,Minamikawa|Mari,Hyodo|Toru,Nomura

キーワード: ガス検知管|一次元CCDイメージセンサ|悪臭センシングネットワーク

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,123 Kバイト