QCM型ガスセンサーを用いた室内環境のフィードバック制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS0516

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　ケミカルセンサ研究会

発行日: 2005/09/06

タイトル(英語): Feedback system for room air using QCM type gas sensors

著者名: 菊池,正志|伊藤,司|白鳥,世明

著者名(英語): Masashi,Kikuti|Tsukasa,Ito|Seimei,Shiratori

キーワード: 半導体ガスセンサ|くし型電極|ヒータ電圧制御|物理吸着|発振回路

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,019 Kバイト