プロトンポンピングゲートFET型水素ガスセンサの感応膜特性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS07037

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　ケミカルセンサ研究会

発行日: 2007/07/03

タイトル(英語): Response Properties of Proton Pumping Gate FET Hydrogen Gas Sensor

著者名: 山口 富治(岡山大学),滝澤正教 (岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),山田 博信(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学)

著者名(英語): Tomiharu Yamaguchi(Okayama University),Masanori Takisawa(Okayama University),Toshihiko Kiwa(Okayama University),Hironobu Yamada(Okayama University),Keiji Tsukada(Okayama University)

キーワード: ガスセンサ|水素|プロトン|FET|固体電解質|ガス選択性|gas sensor|hydrogen|proton|FET|solid electrolyte|gas selectivity

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 442 Kバイト