電界効果型水素センサを用いた多点同時計測水素ガス拡散モニタ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS07039

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　ケミカルセンサ研究会

発行日: 2007/07/03

タイトル(英語): Measurement of hydrogen gas diffusion with FET sensors

著者名: 吉武 剣(岡山大学),坪田 公輔(岡山大学),山口 富治(岡山大学),山田 博信(岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学)

著者名(英語): Ken Yoshitake(Okayama University),Kousuke Tsubota(Okayama University),Tomiharu Yamaguchi(Okayama University),Hironobu Yamada(Okayama University),Toshihiko Kiwa(Okayama University),Keiji Tsukada(Okayama University)

キーワード: 水素ガス|ガスセンサ|FET|分布|拡散|多点計測|画像化|hydrogen gas|gas sensor|FET|distribution|diffusion|multipoint measurement|imaging

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 543 Kバイト