レーザーアブレーション法を用いた水素ガスセンサの性能改善

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS08004

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　ケミカルセンサ研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Performance improvement of Hydrogen Gas Sensor using Laser Ablation Method

著者名: 長谷川 有貴(埼玉大学),高坂 大樹(埼玉大学),勝部 昭明(埼玉大学),前川 仁(埼玉大学)

著者名(英語): Yuki Hasegawa(Saitama University),Daiki Kohsaka(Saitama University),Teruaki Katsube(Saitama University),Hitoshi Maekawa(Saitama University)

キーワード: レーザーアブレーション法|水素センサ|ヘテロ構造|酸化物半導体|Laser ablation method|Hydrogen gas sensor|Hetero-junction device|Oxide semiconductor

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 671 Kバイト